发明名称 HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04132216(A) 申请公布日期 1992.05.06
申请号 JP19900253883 申请日期 1990.09.21
申请人 TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD 发明人 NISHI HIRONOBU
分类号 H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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