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发明名称 LSI WITH TEMPERATURE CONTROL FUNCTION
摘要
申请公布号 JPH04130765(A) 申请公布日期 1992.05.01
申请号 JP19900252640 申请日期 1990.09.21
申请人 NEC CORP;NEC ENG LTD 发明人 INOHARA HIROKI;AKASHI YASUHIRO
分类号 H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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