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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04130754(A) 申请公布日期 1992.05.01
申请号 JP19900252951 申请日期 1990.09.21
申请人 SHARP CORP 发明人 YUTSUGI TATSUYUKI
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L21/31 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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