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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH04130747(A)
申请公布日期
1992.05.01
申请号
JP19900250208
申请日期
1990.09.21
申请人
HITACHI LTD
发明人
SASAMORI MARI
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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