发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04130726(A) 申请公布日期 1992.05.01
申请号 JP19900252668 申请日期 1990.09.21
申请人 NEC IC MICROCOMPUT SYST LTD 发明人 ISHIHARA KUNIYASU
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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