| 发明名称 |
GLASS SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR ELEMENT AND FORMATION OF SEMICONDUCTOR FILM USING SAID GLASS SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04130624(A) |
申请公布日期 |
1992.05.01 |
| 申请号 |
JP19900250922 |
申请日期 |
1990.09.20 |
| 申请人 |
NIPPON SHEET GLASS CO LTD |
发明人 |
YAMAOKA TOMONORI;TAGAMI TAKASHI;ARIMA YASUTOMO;TANAKA SHUHEI |
| 分类号 |
C30B25/02;H01L21/20;H01L21/84 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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