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发明名称
FORMATION OF DIAMOND FILM BY CAPACITY COUPLING TYPE HIGH-FREQUENCY PLASMA METHOD
摘要
申请公布号
JPH04130089(A)
申请公布日期
1992.05.01
申请号
JP19900247933
申请日期
1990.09.18
申请人
MITSUBISHI MATERIALS CORP;MUTSUKURA NOBUKI
发明人
MUTSUKURA NOBUKI;MACHI YOSHIO;KOBAYASHI KENJI
分类号
C30B29/04
主分类号
C30B29/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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