发明名称 PLASMA GENERATOR
摘要
申请公布号 JPH04129200(A) 申请公布日期 1992.04.30
申请号 JP19900248762 申请日期 1990.09.20
申请人 SUMITOMO HEAVY IND LTD 发明人 SUEZAWA HIROKI
分类号 H05H1/26;H01J27/20;H01J37/08 主分类号 H05H1/26
代理机构 代理人
主权项
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