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发明名称 CONVEYING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04129915(A) 申请公布日期 1992.04.30
申请号 JP19900250991 申请日期 1990.09.20
申请人 TOKUDA SEISAKUSHO LTD 发明人 KONOSHIMA EIJI;KATO NAOKI;UTSUNOMIYA NOBUAKI
分类号 B65G25/00;B25J9/00;B65G47/80;B65G47/86;C23C14/00;C23C14/56;G11B7/26;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B65G25/00
代理机构 代理人
主权项
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