发明名称 DUENNSCHICHT-SUPRALEITERSTRUKTURIERUNG DURCH FOKUSSIERTE STRAHLENTECHNIKEN.
摘要
申请公布号 DE3869536(D1) 申请公布日期 1992.04.30
申请号 DE19883869536 申请日期 1988.09.01
申请人 GENERAL MOTORS CORP., DETROIT, MICH., US 发明人 MANTESE, JOSEPH VITO, WASHINGTON MICHIGAN 48094, US;MICHELI, ADOLPH LOUIS, MT. CLEMENS MICHIGAN 48045, US;HAMDI, ABOUD HALAL, DETROIT MICHIGAN 48211, US;CATALAN, ANTONIO BUDDY, STERLING HEIGHTS MICHIGAN 48077, US
分类号 C01G3/00;C01B13/14;C01G1/00;C23C18/12;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24;H01J37/30;G03G5/02 主分类号 C01G3/00
代理机构 代理人
主权项
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