PROCESS AND DEVICE FOR AUTOMATED MONITORING OF THE MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR COMPONENTS

摘要

Lors de la fabrication de composants semi-conducteurs, il faut contrôler la qualité de surface des puces semi-conductrices, ainsi que leur position par rapport à un boîtier, notamment les plots de connexion entre la puce et les éléments de raccordement du boîtier. A cet effet, les composants semi-conducteurs sont éclairés par un dispositif d'éclairage et surveillés au moyen d'une caméra dont les signaux vidéo de sortie peuvent être transmis à un dispositif de traitement de signaux vidéo à des fins de reconnaissance de défauts de fabrication. Selon un procédé de reconnaissance des formes, les directions effectives d'éclairage sont fixées de sorte que des images riches en contrastes des structures à examiner ou de leurs contours puissent être reconnues de manière reproductible.