发明名称 HALBLEITERSCHICHTSTRUKTUR MIT EINER ALUMINIUM-SILIZIUM-LEGIERUNGSSCHICHT.
摘要 A semiconductor layer structure includes an alloy layer (13) of aluminum and silicon formed on a silicon substrate (11). The concentration of silicon contained in the aluminum-silicon alloy layer (13) is within a range of 10 to 75 weight percent. A barrier layer (14) is formed on top of the aluminum-silicon alloy layer, and a metallic layer (15) is formed on top of the barrier layer (14).
申请公布号 DE3869519(D1) 申请公布日期 1992.04.30
申请号 DE19883869519 申请日期 1988.08.25
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 WATANABE, KIYOSHI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA 222, JP
分类号 H01L23/532;H01L29/47;(IPC1-7):H01L23/48;H01L29/40 主分类号 H01L23/532
代理机构 代理人
主权项
地址