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经营范围
发明名称
MAGNETIC FIELD CHARACTERISTIC DATA COLLECTION METHOD FOR ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04129152(A)
申请公布日期
1992.04.30
申请号
JP19900247018
申请日期
1990.09.19
申请人
HITACHI LTD
发明人
ISOGAI SHIZUSHI
分类号
C23C14/48;H01J37/05;H01J37/317;H01L21/265
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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