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发明名称
CHARGED PARTICLE RAY DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04129147(A)
申请公布日期
1992.04.30
申请号
JP19900249293
申请日期
1990.09.19
申请人
NIKON CORP
发明人
NAKASUJI MAMORU;SUZUKI SHOHEI;SHIMIZU HIROYASU
分类号
H01J37/20;H01J37/141;H01J37/18
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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