发明名称 CHARGED PARTICLE RAY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04129147(A) 申请公布日期 1992.04.30
申请号 JP19900249293 申请日期 1990.09.19
申请人 NIKON CORP 发明人 NAKASUJI MAMORU;SUZUKI SHOHEI;SHIMIZU HIROYASU
分类号 H01J37/20;H01J37/141;H01J37/18 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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