发明名称 SHUTTER DEVICE FOR ELECTRON MICROSCOPE OR DEVICE SIMILAR THERETO
摘要
申请公布号 JPH04129151(A) 申请公布日期 1992.04.30
申请号 JP19900247024 申请日期 1990.09.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 TERAKADO SADAO
分类号 H01J37/22 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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