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发明名称
PLASMABEARBEITUNGSVERFAHREN UND -VORRICHTUNG
摘要
申请公布号
DE4114752(A1)
申请公布日期
1992.04.30
申请号
DE19914114752
申请日期
1991.05.06
申请人
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
ISHIDA, TOMOAKI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号
C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
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