发明名称 PLASMABEARBEITUNGSVERFAHREN UND -VORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE4114752(A1) 申请公布日期 1992.04.30
申请号 DE19914114752 申请日期 1991.05.06
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ISHIDA, TOMOAKI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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