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发明名称 MICROMECHANICAL SENSOR
摘要
申请公布号 GB9205711(D0) 申请公布日期 1992.04.29
申请号 GB19920005711 申请日期 1992.03.16
申请人 LYNXVALE LIMITED 发明人
分类号 G01N27/12;B81B3/00;G01B7/00;G01B7/14;G01N13/12;G01N19/00;G01N27/22;G01N37/00;G01P15/08;G01P15/12;H01L29/84 主分类号 G01N27/12
代理机构 代理人
主权项
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