| 发明名称 |
CALIBRATION VERIFICATION AND CORRECTION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0430475(A3) |
申请公布日期 |
1992.04.29 |
| 申请号 |
EP19900312257 |
申请日期 |
1990.11.09 |
| 申请人 |
CASCADE MICROTECH, INC. |
发明人 |
STRID, ERIC W.;DAVIDSON, ANDREW C. |
| 分类号 |
G01R27/04;G01R27/28;G01R31/00;G01R35/00;(IPC1-7):G01R35/00 |
主分类号 |
G01R27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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