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发明名称 PHOTOIMAGEABLE ELECTRODEPOSITABLE PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0469537(A3) 申请公布日期 1992.04.29
申请号 EP19910112767 申请日期 1991.07.30
申请人 PPG INDUSTRIES, INC. 发明人 OLSON, KURT G.;SANDALE, MICHAEL G.;ZAWACKY, STEVEN R.;KAHLE II, CHARLES F.;NAKAJIMA, MASAYUKI
分类号 G03F7/027;G03F7/031;G03F7/038;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;H05K3/06;(IPC1-7):G03F7/16 主分类号 G03F7/027
代理机构 代理人
主权项
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