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发明名称 DUAL-TONE IMAGING USING NOVOLAC PHOTORESISTS AND CARBODIIMIDES
摘要
申请公布号 EP0446728(A3) 申请公布日期 1992.04.29
申请号 EP19910103130 申请日期 1991.03.01
申请人 UNION CARBIDE CHEMICALS AND PLASTICS COMPANY, INC. 发明人 TAYLOR, JAMES WAYNE;BASSETT, DAVID ROBINSON
分类号 G03F7/004;G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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