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发明名称 NARROW BAND EXCIMER LASER APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0459503(A3) 申请公布日期 1992.04.29
申请号 EP19910108899 申请日期 1991.05.31
申请人 MITSUI PETROCHEMICAL INDUSTRIES, LTD. 发明人 TERADA, MITSUGU;OHMATA, KEN;UEHARA, MICHITO;SHIBATA, HIDEAKI;OEDA, YASUO;TERASHI, YUICHIRO
分类号 H01S3/08;H01S3/106;H01S3/137;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/08;G02B27/28;H01S3/134;H01S3/136 主分类号 H01S3/08
代理机构 代理人
主权项
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