| 发明名称 |
METHOD OF FILM FORMATION BY SPUTTERING USING MULTI ION BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04128370(A) |
申请公布日期 |
1992.04.28 |
| 申请号 |
JP19900247228 |
申请日期 |
1990.09.19 |
| 申请人 |
JAPAN STEEL WORKS LTD:THE |
发明人 |
MIURA TAKESHI |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/46;C23C14/48;H01L21/203;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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