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发明名称 SURFACE CLEANING PROCESS
摘要
申请公布号 JPH04127529(A) 申请公布日期 1992.04.28
申请号 JP19900247135 申请日期 1990.09.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 OGAWA TARO;MOCHIJI KOZO;OCHIAI ISAO;HIRAIWA ATSUSHI;MIYAMOTO NOBUO;TAKAKUWA YUJI
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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