发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04127434(A) 申请公布日期 1992.04.28
申请号 JP19900249507 申请日期 1990.09.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OZAWA TAKASHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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