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发明名称
FILM CARRIER TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS SELECTION
摘要
申请公布号
JPH04127445(A)
申请公布日期
1992.04.28
申请号
JP19900248255
申请日期
1990.09.18
申请人
NEC CORP
发明人
KIKKAI AKIRA
分类号
H01L21/60;H01L21/66
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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