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发明名称 ATOM AND MOLECULE PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04127420(A) 申请公布日期 1992.04.28
申请号 JP19900188708 申请日期 1990.07.17
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 IWAMATSU SEIICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/20;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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