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发明名称 HEAT TREATMENT OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH04127532(A) 申请公布日期 1992.04.28
申请号 JP19900249190 申请日期 1990.09.19
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 KUDO KAZURO
分类号 H01L21/324;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
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