发明名称 THIN FILM CAPACITOR
摘要
申请公布号 JPH04125958(A) 申请公布日期 1992.04.27
申请号 JP19900246878 申请日期 1990.09.17
申请人 NEC CORP 发明人 SAKUMA TOSHIYUKI
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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