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发明名称
CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04126346(A)
申请公布日期
1992.04.27
申请号
JP19900248519
申请日期
1990.09.18
申请人
RES DEV CORP OF JAPAN;TOSOH CORP
发明人
TSUKAJIMA JUNICHI;HAYASHI TOSHINORI
分类号
H01J37/147;H01J37/28
主分类号
H01J37/147
代理机构
代理人
主权项
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