| 发明名称 |
MEASURING METHOD OF CARRIER CONCENTRATION OF III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04125945(A) |
申请公布日期 |
1992.04.27 |
| 申请号 |
JP19900248271 |
申请日期 |
1990.09.17 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
SHIRAKI HIROYUKI;KIKUCHI TAKAYUKI;TOMIYAMA YOSHIMI |
| 分类号 |
G01J3/18;H01L21/66;H01L27/12 |
主分类号 |
G01J3/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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