发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING HIGH PURITY NITROGEN
摘要
申请公布号 JPH04126991(A) 申请公布日期 1992.04.27
申请号 JP19900247594 申请日期 1990.09.19
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TECHNO ENG CO LTD 发明人 YOSHIMATSU YUKIYOSHI;KITA OSAMU;TSUSHIMA HIROSHI
分类号 F25J3/08 主分类号 F25J3/08
代理机构 代理人
主权项
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