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经营范围
发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING HIGH PURITY NITROGEN
摘要
申请公布号
JPH04126991(A)
申请公布日期
1992.04.27
申请号
JP19900247594
申请日期
1990.09.19
申请人
HITACHI LTD;HITACHI TECHNO ENG CO LTD
发明人
YOSHIMATSU YUKIYOSHI;KITA OSAMU;TSUSHIMA HIROSHI
分类号
F25J3/08
主分类号
F25J3/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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