发明名称 MANUFACTURE OF IMMERSION TYPE CATHODE
摘要
申请公布号 JPH04126333(A) 申请公布日期 1992.04.27
申请号 JP19900248132 申请日期 1990.09.18
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 SUGIMURA TOSHIKAZU
分类号 C23F4/00;H01J9/04 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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