发明名称 VACUUM VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04124269(A) 申请公布日期 1992.04.24
申请号 JP19900242499 申请日期 1990.09.14
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HASHIDATE YOSHIO
分类号 C23C14/30;C23C14/56 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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