| 发明名称 |
APPARATUS FOR INSPECTING APPEARANCE OF CHIP PART |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04125454(A) |
申请公布日期 |
1992.04.24 |
| 申请号 |
JP19900247808 |
申请日期 |
1990.09.17 |
| 申请人 |
MURATA MFG CO LTD |
发明人 |
TANIGUCHI KEIJI;NAGATA SATOSHI;SEKI TETSUJI |
| 分类号 |
G01N21/88;B07C5/342;G01N21/93;G01N21/956;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
