DEVICE FOR EPITACTIC PRECIPITATION OF SEMICONDUCTOR MATERIAL,申请号USD3665139-传众专利搜索

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发明名称	DEVICE FOR EPITACTIC PRECIPITATION OF SEMICONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号	US3665139(A)	申请公布日期	1972.05.23
申请号	USD3665139	申请日期	1970.05.12
申请人	SIEMENS AG.	发明人	HERMANN STEGGEWENTZ
分类号	C30B25/10;C30B35/00;E06B5/02;H01L21/205;(IPC1-7):H05B9/00	主分类号	C30B25/10
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