发明名称 MANUFACTURE OF SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH04124815(A) 申请公布日期 1992.04.24
申请号 JP19900243873 申请日期 1990.09.17
申请人 NISSAN MOTOR CO LTD 发明人 IKOMA KEIKO;SHINOHARA MIKIYA;YAMANAKA MITSUGI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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