| 发明名称 |
MOLECULAR BEAM EPITAXIAL CRYSTAL GROWTH APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04124088(A) |
申请公布日期 |
1992.04.24 |
| 申请号 |
JP19900243516 |
申请日期 |
1990.09.12 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
UEDA TOSHIYUKI;KAWACHI TETSUYA;TAKIGAWA HIROSHI;OZAKI KAZUO;TANAKA MASAHIRO |
| 分类号 |
C30B23/08;C07D295/08;H01L21/203;H01L21/363 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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