| 发明名称 |
MANUFACTURE OF MINUTE PROBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04125402(A) |
申请公布日期 |
1992.04.24 |
| 申请号 |
JP19900243789 |
申请日期 |
1990.09.17 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TAKAMATSU OSAMU;NAKAYAMA MASARU;YAGI TAKAYUKI;SHIMADA YASUHIRO;HIRAI YUTAKA |
| 分类号 |
G01B7/34;G01N27/00;G01Q60/16;G01Q70/16;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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