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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04124822(A) 申请公布日期 1992.04.24
申请号 JP19900243923 申请日期 1990.09.17
申请人 NIPPON MINING CO LTD 发明人 OTANI SOICHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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