发明名称 OPTICAL APPARATUS FOR INSPECTING DEFECT
摘要
申请公布号 JPH04122847(A) 申请公布日期 1992.04.23
申请号 JP19900245819 申请日期 1990.09.14
申请人 OMRON CORP 发明人 OGINO KENJI
分类号 G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892;H04N7/18 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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