发明名称 TRANSPORTVERFAHREN UND -SYSTEM FUER REINRAUMBEDINGUNGEN
摘要
申请公布号 DE4116554(A1) 申请公布日期 1992.04.23
申请号 DE19914116554 申请日期 1991.05.21
申请人 TDK CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TAKAHASHI, TETSUO;MIYAUCHI, EISAKU, AKITA, JP;MIYAJIMA, TOSHIHIKO, SAKU, NAGANO, JP
分类号 B65D6/40;B65G49/00;B65G49/07;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/677 主分类号 B65D6/40
代理机构 代理人
主权项
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