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经营范围
发明名称
TRANSPORTVERFAHREN UND -SYSTEM FUER REINRAUMBEDINGUNGEN
摘要
申请公布号
DE4116554(A1)
申请公布日期
1992.04.23
申请号
DE19914116554
申请日期
1991.05.21
申请人
TDK CORP., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
TAKAHASHI, TETSUO;MIYAUCHI, EISAKU, AKITA, JP;MIYAJIMA, TOSHIHIKO, SAKU, NAGANO, JP
分类号
B65D6/40;B65G49/00;B65G49/07;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/677
主分类号
B65D6/40
代理机构
代理人
主权项
地址
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