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经营范围
发明名称
ION IMPLANTATION APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH04123755(A)
申请公布日期
1992.04.23
申请号
JP19900244527
申请日期
1990.09.14
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
SHIRATAKE SHIGERU;MATSUDA SHINTARO;YAMAMOTO HIROHISA
分类号
H01J37/317;H01L21/265
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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