| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM SELEKTIVEN CHEMISCHEN AUFDAMPFEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3684414(D1) |
申请公布日期 |
1992.04.23 |
| 申请号 |
DE19863684414 |
申请日期 |
1986.05.09 |
| 申请人 |
GEN ELECTRIC |
发明人 |
WILSON RONALD HARVEY;STOLL ROBERT WINSTON;CALACONE MICHAEL ANTHONY |
| 分类号 |
C23C16/04;C23C16/48;H01L21/268;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/04 |
主分类号 |
C23C16/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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