发明名称 KUEHLVORRICHTUNG FUER ELEKTRONISCHE BAUELEMENTE
摘要
申请公布号 DE4033383(A1) 申请公布日期 1992.04.23
申请号 DE19904033383 申请日期 1990.10.20
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV, 8000 MUENCHEN, DE 发明人 RIEDEL, WOLFGANG JULIUS, 7844 NEUENBURG, DE;KNOTHE, MANFRED, 7800 FREIBURG, DE
分类号 F25D3/10;H01L23/44;H01L33/64;H01S5/024 主分类号 F25D3/10
代理机构 代理人
主权项
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