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发明名称 HALBLEITERVORRICHTUNG MIT EINEM DIELEKTRISCHEN KONDENSATORFILM IN MEHRSCHICHTSTRUKTUR UND VERFAHREN ZUM STEUERN DER HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE4134531(A1) 申请公布日期 1992.04.23
申请号 DE19914134531 申请日期 1991.10.18
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUKAWA, TAKAYUKI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 G11C11/404;G11C11/4074;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108 主分类号 G11C11/404
代理机构 代理人
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