| 发明名称 |
ETCHING METHOD OF THICK FILM LAYER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04123745(A) |
申请公布日期 |
1992.04.23 |
| 申请号 |
JP19900245647 |
申请日期 |
1990.09.14 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KOIWA ICHIRO;TERAO YOSHITAKA;KOBAYASHI HIROMI;SAWAI HIDEO |
| 分类号 |
C04B41/91;H01J9/02;H01J11/00;H01J11/02;H01J17/49 |
主分类号 |
C04B41/91 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
