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发明名称 RADIATION-SENSITIVE POSITIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0461654(A3) 申请公布日期 1992.04.22
申请号 EP19910109727 申请日期 1991.06.13
申请人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED 发明人 MORIUMA, HIROSHI;OSAKI, HARUYOSHI;HIOKI, TAKESHI;UETANI, YASUNORI
分类号 G03F7/039;C07C39/15;G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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