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发明名称 VAPOR PHASE EPITAXY METHOD
摘要
申请公布号 JPH04122020(A) 申请公布日期 1992.04.22
申请号 JP19900243518 申请日期 1990.09.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TANAKA MASAHIRO;KAWACHI TETSUYA;UEDA TOSHIYUKI;WATANABE YOSHIO
分类号 H01L21/205;H01L21/365 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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