发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH04121933(A) 申请公布日期 1992.04.22
申请号 JP19900243454 申请日期 1990.09.12
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 TAKAHASHI MASATO;TAWARA HIDEAKI;MATSUBARA KATSUO
分类号 H01J27/18;H01J37/08 主分类号 H01J27/18
代理机构 代理人
主权项
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