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发明名称 CHARGED BEAM ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH04122017(A) 申请公布日期 1992.04.22
申请号 JP19900241272 申请日期 1990.09.13
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUMURA TAKAHIRO;KAMIMURA SEIJI
分类号 H01J37/147;H01J37/305;H01L21/027 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
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